SMS dispone de medidores de vacio, para los diferentes rangos de presión. Según la presión total se utiliza uno u otro método. Los sensores más importantes para bajo vacío (el que se obtiene con una bomba dryscroll, rotatoria o de membranas, es del orden de 10E-3 mbar) son los llamados pirani o termopares. Para presiones menores (ultra alto vacío), contamos con medidores tipo Bayard-Alpert, aunque también medidores del tipo de catodo frio pueden ser utilizados (Penning).
Para trabajar con estas presiones tan bajas, es necesario el uso de un cuadrupolo en RF, que nos permite obtener la composición atmosférica en la cámara de vacío separandola por iones, respecto a su masa molecular. De este modo identificamos la presión parcial de cada gas.
Una de las aplicaciones más importantes del cuadrupolo es la búsqueda de fugas, motivadas por partes del sistema que están mal cerradas. Normalmente se utiliza gas Helio, masa 4, que no debe de existir dentro del sistema y que se cuela en el interior por bridas mal cerradas , o la simulación de atmosferas. Así como el control de valores de desgasificación de componentes. El cuadrupolo nos indica que masas limitan la presión total y por tanto es el instrumento de control principal en un sistema de vacío. |
