válvula fugas
localización en SMS
especificaciones
SMS cuenta con dos válvulas de fugas. estas se emplean para controlar con mucha precisión, el flujo de entrada de gas. Una de ellas está a la entrada de gas de la fuente de iones , y la otra en un puerto CF40 de la cámara del XPS.
rango de presión
: 1E-10 mbar a 2 bar
bakeout
: 250ºC
peso
: 0.9 Kg
XPS
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AES
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UPS
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STM
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LEED
bomba DryScroll
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bomba Turbo
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bomba Ionica
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bomba Sublimación Ti
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bomba criogenica
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Criopanel
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Bayard-Alpert
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convector
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cuadrupolo en RF
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fuente de Rayos-X
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fuente de electrones
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fuente ultravioleta
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fuente de iones
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detector de electrones
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evaporador molecular
cámara XPS
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cámara LEED
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cámara INTRO
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manipulador XYZ
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portamuestras
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barra mecanica
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barra magnética
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válvula de fugas
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válvula vent-to-air
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válvula neumatica
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valvula mecánica
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gases
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refrigeración por agua
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refrigeración por nitrogeno líquido
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estructura
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horneo
muestra
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superficies
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experimentos
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análisis de riesgos
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field emission
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instrumentos de medida
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downloads
© Jesús Manuel Sobrado Vallecillo (
www.txus.es
)