válvula fugas
localización en SMS
 
especificaciones
SMS cuenta con dos válvulas de fugas. estas se emplean para controlar con mucha precisión, el flujo de entrada de gas. Una de ellas está a la entrada de gas de la fuente de iones , y la otra en un puerto CF40 de la cámara del XPS.

rango de presión : 1E-10 mbar a 2 bar

bakeout: 250ºC

peso: 0.9 Kg

 
XPS | AES | UPS | STM | LEED
© Jesús Manuel Sobrado Vallecillo (www.txus.es)