Las moléculas del gas y los átomos son ionizados por las colisiones con los electrones, dentro de la cámara de ionización. En el interior de la cámara de ionización, se encuentra el ánodo dentro de un cilindro “repeledor”. El filamento (cátodo), se encuentra a una distancia equidistante de todo el ánodo. Los electrones son emitidos y acelerados hacia el ánodo con una energía de unos 100eV, es entonces cuando ionizan a las partículas de gas, formando un plasma de iones y electrones. De este modo un electrón que no haya colisionado con el gas se vera reflejado por el potencial del cilindro “repeledor”, y será rempujado de nuevo hacia el ánodo.
La presión de descarga de la fuente de iones, suele ser del orden de 2Embar, para Argón.
La fuente de iones de Argón, se emplea en todas las espectroscopias electrónicas en ultra alto vacío, con el objetivo de limpiar la superficie a estudio, de este modo mediante la erosión que producen los iones de Argón, sobre la muestra, se consigue quitar todas las impurezas depositadas en la misma.
También es necesaria una fuente de iones para la realización de ISS. |