Evaporador térmico: Se trata de un filamento de W, sobre el que se hace pasar una corriente, para de este modo calentar el material que se encuentra en el horno, y conseguir evaporar moléculas. El evaporador se encuentra en el interior de una pequeña cámara, anexa a la cámara del LEED. De este modo al ser independiente, permite su extracción de manera rápida y el cambio del material a evaporar.

Las condiciones de funcionamiento, están marcadas por los siguientes factores:

• Presión en la cámara
• Corriente del filamento (temperatura)
• Velocidad de evaporación (volatilidad del material)
• Distancia y posición a la muestra