Los electrones que provienen de una fuente, inciden contra la superficie a analizar. En la interacción del átomo con fotones o electrones que se hacen incidir sobre la superficie, se produce un ión, que rebaja su energía rellenando el hueco creado por un electrón de un nivel más alto, con emisión de la energía sobrante. Esta puede emitirse en forma de fotón o suministrarse como energía cinética a otro electrón menos ligado. El segundo efecto, sin emisión de radiación es el efecto Auger. En la practica los espectros Auger se miden en forma diferenciada (dn(e)/de), comúnmente se etiquetan las energías de las transiciones Auger como la correspondiente a la posición del mínimo (excursión negativa) del pico diferenciado, que , como vemos no es la de la verdadera transición que está en el máximo del pico en n(e).