bomba Criogénica
localización en SMS
 
especificaciones
SMS cuenta con dos bombas criogénicas sin contar el criopanel de la bomba iónica. Una de ellas es exterior (cámara XPS, AES, UPS), y va montada sobre un codo de 90º en un puerto CF40. La otra es interior a la cámara del LEED, y STM (CF100). Esta bomba cuenta en su interior con 9 cilindros de 20mm de diámetro y 140mm de longitud. Ambas bombas se rellenan de Nitrógeno líquido, de este modo se consiguen condensar los gases del interior de la cámara cuando estamos en niveles de alto vacío. El resultado es que podemos bajar un poco la presión de SMS. Además es un tipo de bomba que no produce vibraciones, cuando se estabiliza, por lo que es un complemento ideal a la bomba iónica.

presión: desde 1E-6 mbar

volumen: externa:20cm3, interna: 160cm3
superficie de contacto: externa: 20 cm2, interna: 160cm2
bakeout: 350ºC
XPS | AES | UPS | STM | LEED
© Jesús Manuel Sobrado Vallecillo (www.txus.es)