La  bomba rotativa es utilizada para conseguir vacío primario (10E-1mbar) en las bombas de una sola etapa y (10E-3mbar) en las bombas de dos etapas, como sucede en la cámara MARTE (DUO 35 de Pfeiffer Gmbh). Al tratarse de una bomba mecánica, el método de hacer vacío es el de transferencia de gas.

Las bombas rotatorias de cuchillas o paletas, están compuestas por un estator en el cual gira un rotor con ranuras que está fijado excéntricamente. Este rotor tiene cuchillas que son empujadas por muelles. Estas cuchillas se deslizan a lo largo de las paredes del estator y de esa manera empujan el aire que ha aspirado en la entrada, para finalmente expulsarlo a través del aceite por la válvula de salida.

El funcionamiento de la bomba rotativa se basa en el cambio continuo de volumen de una pequeña cámara de bombeo como consecuencia de la expansión y compresión que sufre el embolo que cambia su volumen por la acción giratoria de unas cuchillas.

Las bombas de doble etapa cuentan con dos émbolos y con cuatro cuchillas, siendo la expulsión de la primera etapa de la bomba, la admisión en la segunda. Estas bombas necesitan aceite para su uso y refrigeración (El contenido de aceite en estas bombas sirve de lubricante y de junta estanca, llena los huecos vacíos y ayuda a refrigerar la bomba), por lo que en algunos casos no son las más convenientes debido a la posibilidad de que las cámaras de vacío recojan los vapores de los aceites de estas bombas.