Válvula de aguja; Se trata de una válvula de ajuste intermedio entre una válvula de fugas y una de codo, en este tipo de válvula el elemento de cierre lo forma una aguja que penetra en el interior de un orificio por la acción de un tornillo de ajuste muy desmultiplicado. Realizándose el cierre final mediante una pequeña junta de plata, al igual que se trata en las válvulas de aguja. Se suele emplear este tipo de válvula para el control de gases cuando estamos en flujo laminar. En este tipo de válvulas se suele emplear un controlador automático tipo PID. Debido a su geometría, la señal de voltaje necesaria para actuar sobre la válvula sigue una curva logarítmica sobre el caudal. Este tipo de válvula se utiliza para controlar caudales muy precisos en cámaras de vacío de unos pocos litros de volumen.

Válvula automática reguladora de flujo; El mecanismo de apertura y cierre, tiene un accionamiento de tipo mariposa, la tapa bascula obre un eje centrado en la mitad de la tapa. El control de flujo se realiza mediante una electrónica de control tipo PID. La válvula, al contar sólo con dos posiciones, abierta o cerrada, tiene que actuar varias veces en el tiempo para poder controlar un flujo de gas, bien sea de entrada o de salida. Dependiendo del caudal máximo y mínimo, se dimensiona la válvula (sección, solenoide, etc,…). En la figura 1 se observa el tipo de grafica de flujo en mbar l/s, en función de la corriente de entrada en el solenoide que actúa sobre la válvula. Este tipo de válvula se suele emplear en cámara de vacío con régimen de vacío grueso o alto vacío, y en el que además el volumen de la cámara es grande, a partir de 50 litros.