Las válvulas permiten la comunicación de un fluido, en nuestro caso gas, entre los dos lados de la puerta de la válvula. En el caso más corriente de válvulas de tipo codo el único elemento diferenciador es el tipo de construcción de las mismas y los requerimientos en cuanto al ratio de fugas, la temperatura de horneo y el tipo de brida, normalmente CF, KF y uniones bicono metálicas muy empleadas en los conductos que van desde la botella de gases a la válvula de fugas. Esto hace que estas válvulas sean mucho más económicas que las de UHV.

En la cámara MARTE tenemos válvulas de codo para aislar los medidores capacitivos. Válvulas de guillotina para comunicar la CA y la CP, así como otra instrumentación. Válvulas de flujo para regular la presión de manera manual y automática y válvulas de venteo.