La bomba de diafragma o membrana, es una bomba mecánica, seca, que utiliza la transferencia de gas para producir vacío. La forman un pistón que actúa realizando un movimiento vertical, excéntrico, sobre el eje del rotor de la bomba, lo que permite actuar sobre la membrana con un pequeño movimiento de “ola”. La membrana esta normalmente compuesta de un metal o de un polímero flexible, elastómero “vulcanizado”, que actúa como un diafragma, expansionándose y comprimiéndose en un pequeño volumen. Al mismo tiempo que el diafragma realiza un movimiento vertical, las válvulas de admisión o de escape van abriendo y cerrando la cámara de expansión de la bomba (figuras 1 a 4). El resultado es que por aspiración del diafragma, sacamos gas del recinto que queremos bombear, para posteriormente al cerrar esta válvula, que coincide con el mínimo volumen de la cámara de expansión. Los gases escapan a través de la válvula de alta presión o de escape.

La bomba de membrana se utiliza en los equipos de vacío cuyas necesidades de velocidad de bombeo y presión última no son muy restrictivas, como es en el caso de un pequeño horno de vacío, además es utilizada como bomba primaria de turbos (como sucede en nuestro equipo autónomo de bombeo para el RGA), en este caso de velocidades de bombeo bajas. Al tratarse de una bomba seca es utilizada en aquellos procesos que se quiere garantizar la máxima limpieza.