RGA es la denominación del análisis residual de gases realizado mediante la técnica de espectroscopia de masas. En la cámara MARTE al trabajar en presiones relativamente altas de pocos mbar es imposible mantener en esas condiciones un filamento encendido (incandescente) que produzca electrones por emisión termoiónica y sea capaz de mantener un régimen estable de ionización. Utilizamos una cabeza de ionización abierta pensada para régimen de ultra alto vacío. Debido a esto nuestro cuadrupolo debe de trabajar en régimen de bombeo diferencial con respecto a la cámara MARTE. El cuadrupolo se encuentra en un equipo portátil de bombeo y conectado a la cámara de vacío a través de un tubo corrugado de aluminio en KF16. De este modo la cámara del cuadrupolo es capaz de trabajar en régimen de alto vacío o 10E-5mbar que hace posible que el filamento así como el SEM o multiplicador de electrones trabaje sin riesgo. EN estas condiciones lo que hacemos es provocar una fuga en el sistema. La presión base de este equipo es 5E-8mbar sin hornear y provocamos una fuga hasta un valor de 10E-5mbar que procede en nuestro caso de la atmósfera del interior de MARTE. El control lo podemos hacer manualmente o automáticamente controlando en flujo o en presión. De este modo todo el gas que pasa por el cuadrupolo únicamente proviene de nuestra fuga que en nuestro caso es la cámara MARTE.
Un caso excepcional se produce cuando configuramos la cámara MARTE para que se convierta en la PPC. En ese caso el cuadrupolo se encuentra en la misma cámara de vacío ya que bombeamos con una bomba turbo y llegamos hasta valores de 10E-7mbar. Utilizamos esta configuración sobre todo para la realización de TPD, ademas de para obtener el espectro analógico de gases de la atmósfera de la cámara de vacío. |