Se llama UHV, al sistema que se encuentra con una presión por debajo a 1e-7 mbar. (1 Atmósfera = 1013 mbar.). En PASC llegamos a 5E-9 mbar.

PASC dispone de medidores de vacio, para diferentes rangos de medida. Para saber la presión total en las distintas cámaras, contamos con manometros combinados Pirani-Penning , y de un cuadrupolo en RF, que nos permite obtener la composición atmosférica separandola por iones, respecto asu masa molecular. De este modo identificamos la presión parcial respecto a cada masa, lo cual es muy importante, para la identificación de fugas (Helio, masa 4), o la simulación de atmosferas, así como el control de valores de desgasificación de componentes.