Método de emisión termoiónica: el filamento es simplemente calentado mediante el paso de una corriente electrica. A temperaturas suficientemente altas, los electrones adquieren una energía adicional suficiente para superar la barrera de energía impuesta por la función de trabajo. En este proceso, cuanto más alta sea la temperatura, mayor será la corriente electrónica emitida desde 100eV, hasta 5KeV, con un área máxima de escaneo de 5mm2.