Se basa en el cambio continuo de volumen de una pequeña cámara de bombeo como consecuencia de la expansión y compresión que sufre su membrana. En la etapa de expansión se produce la toma de gas y en la de compresión su expulsión. Suelen tener tres-cuatro etapas de bombeo para llegar a un vacío final de aprox. 1 mbar.