esquema técnico del sitema de introdución de gases. A) cámara de mezcla de gases. (B)monitorización de gas y sistema de entrada. (C) sistema de bombeo. 1.- sensor capacitivo de temperatura regulada; 2.- válvula de membrana; 3.- cámara de mezcla; 4.- váslvulas de dosificación de gases; 5.- botellas de gases (CO2, N2, Ar, etc...); 6.- válvulas de membranas; 7.- válvulas de aguja; 8.- depósitos líquidos; 9.- válvula de fugas; 10.- válvula de membrana; 11.- medidor pirani-penning; 12.- válvula reguladora d egas; 13.- espectrómetro de masas; 14.- bomba turbo molecular; 15.- bomba de membrana; 16.- bomba rotativa. las lineas y los punto sen rojo marcan los elementos calefactados. |